SHG5050型微量水分發生器

產品簡介
SHG5050型微量水分發生器，本裝置用于產生水氣含量在0~100 ppm范圍連續可調的氣體，以He/Ar/N2等惰性氣體為載氣，流量0~600 sccm；出廠前輸出濃度經上海計量院標定

更新時間：2025-05-13

廠商性質：生產廠家

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PRODUCT CLASSIFICATION

發生器

常規空氣凈化其他發生器航空航天測試特種廢氣凈化光電玻璃制造細菌病毒消殺可控蒸發混合器濕度發生器水蒸氣發生器煙霧發生器

丙酮示蹤劑發生器在操作前需要做好以下準備工作

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1 總體參數

1.1 水含量	0~100 ppm
1.2 氣體流量	0~600 sccm
1.3 載氣	特氣
1.4 連續運行時長	12 個月
1.5管路材質	SUS316L
1.6額定功率	500W@220VAC 50Hz

2 工作原理

SHG5050型微量水分發生器

圖1 微量水分發生器工藝流程圖

（1）濕路載氣經減壓閥2-1#調節到5bar AG，在飽和器中加濕，得到約2000ppm的飽和含濕氣體；飽和含濕氣體經過減壓閥2-2#調節到2bar AG左右，再經質量流量控制器2#調節流量。

（2）干路載氣經減壓閥1-1#調節到2bar AG左右，再經質量流量控制器1#調節流量。

（3）干路和濕路氣體流量比例控制在19：1，再經過混合器后得到濕度約100ppm的目標含濕氣體輸出。

（4）飽和器通過冷水機控溫，使其溫度在10℃

3 設備接口

桌面式機箱，

載氣入口：1/8’’ 卡套

氣體出口：1/8’’ 卡套

SHG5050型微量水分發生器

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